壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中尤為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào),或在一段連續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi),輸出為數(shù)字信號(hào)。而通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
壓力傳感器的類型非常多,主要有應(yīng)變式壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、擴(kuò)散硅壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器等,下面我分別為大家介紹一下這幾類的工作原理。
電阻應(yīng)變片壓力傳感器的核心部分是電阻應(yīng)變片,如圖1 所示,是電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)示意圖,
金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示:
R=ρ·L/S.
式中:
ρ--電阻材料的電阻率
L--電阻材料的長度(米)
S--電阻材料的截面面積(平方厘米)
當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí),其長度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,從上式中可很容易看出,其電阻值即會(huì)發(fā)生改變,假如金屬絲受外力作用而伸長時(shí),其長度增加,而截面積減少,電阻值便會(huì)增大。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí),長度減小而截面增加,電阻值則會(huì)減小。只要測出加在電阻的變化(通常是測量電阻兩端的電壓),即可獲得 應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情。
陶瓷壓力傳感器原理:抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
工作原理:被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號(hào)。
藍(lán)寶石壓力傳感器原理:利用應(yīng)變電阻式工作原理,在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅- 藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出(0-5 ,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍(lán)寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,從而達(dá)到壓力測量的目的。
工作原理:當(dāng)薄圓筒內(nèi)側(cè)受到壓力作用時(shí),圓筒的內(nèi)張力增大,從而使其固有振動(dòng)頻率升高。利用此效應(yīng)。只要測出振筒的固有振動(dòng)頻率,就可知道壓力大小。圓筒的固有振動(dòng)頻率的測量精度決定于筒的諧振品質(zhì)因數(shù)Q、信號(hào)處理電路和時(shí)鐘信號(hào)精度。